CY Wang Research Plan

【王淳右個人研究計畫】2013/10/28

Title: AFM Thermal Probe

利用AFM的高解析度,製作可以整合多功能量測的奈米系統,能夠同時量測表面輪廓以及溫度梯度,並且滿足在奈米尺度下的條件,同時表面也善加利用FIB等奈米製程技術,未來將回進行更進一步的整合。

Key words: FIB, AFM thermal probe, mems

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