CY Chen Research Plan

【陳期宇個人研究計畫】2013/09/16

Title: AFM Thermal Probe

使用FIB技術,製作一個可測量表面溫度分布的原子力顯微鏡探針,利用金屬電阻與溫度的關係,藉此在測量物體表面輪廓時能同時做溫度的量測,以測得表面溫度分布,目標解析度達奈米等級。

Key words: FIB, AFM thermal probe, mems

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